1209 High output tube-type ECF micropump by using MEMS technology
1209 MEMS技術を用いた高出力管路形ECFマイクロポンプ(アクチュエータのためのマイクロナノプロセス,一般講演)

Joon-wan KIM, T. V. X. Nguyen, Shinichi YOKOTA, Kazuya EDAMURA
2010 The Proceedings of the Machine Design and Tribology Division meeting in JSME  
doi:10.1299/jsmemdt.2010.10.79 fatcat:ekwvm2ndmfhrximgdnxdpn755q