Техника электрохимического вольт-фарадного профилирования сильно легированных структур с резким профилем распределения примеси

Д.С. Фролов, Г.Е. Яковлев, В.И. Зубков
2019 Журнал технической физики  
doi:10.21883/ftp.2019.02.47114.8966 fatcat:ihuernmbjrhb3grpqolimy7pmy