Nanocristales de silicio en matriz de SiO2 para aplicaciones fotónicas
Silicon nanocrystals embedded in silicates for photonic applications

R. Ferré, B. Garrido, P. Pellegrino, C. García, J. R. Morante
2004 Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio  
En este trabajo describimos la tecnología y los materiales empleados en la fabricación de nanocristales de silicio (Si-nc) para obtener dispositivos luminiscentes usando procesos compatibles con la tecnología CMOS. Los nanocristales de Silicio se sintetizaron a partir de una implantación iónica sobre SiO 2 y un posterior recocido, consiguiendo una distribución de tamaños que varia desde 2.5 a 6 nm dependiendo de la dosis de implantación. Todas las muestras presentan una fotoluminiscencia ancha
more » ... lrededor de 700-800 nm (rojo), que se desplaza fuertemente con el tamaño medio de los nanocristales. Las estructuras más eficientes presentan una tamaño promedio de 3 nm, con una densidad de 10 19 cm -3 . En cuanto a fotoluminiscencia, se ha hecho una estimación de las energías del gap, de las vidas medias (20-200 μs) y las secciones eficaces de absorción (10 -15 -10 -16 cm 2 ) en función del tamaño y de la pasivación de la superficie de los nanocristales. En estructuras tipo MOS con Si-nc se obtuvo electroluminiscencia muy fuerte y estable a temperatura ambiente. Las curvas I-V muestran que la corriente es debida puramente a un mecanismo de efecto túnel.
doi:10.3989/cyv.2004.v43.i2.549 fatcat:phui6hpgmvfu7etoo263ukppgy