1 Inch-sized HiPIMS Glow Plasma Source for "Minimal Fab Manufacturing System"
ミニマルファブのための1インチサイズHiPIMSプラズマ源(<小特集>プラズマ応用技術の新展開)

Ken YUKIMURA, hisato OGISO, Shizuka NAKANO
2014 Journal of the Society of Mechanical Engineers  
doi:10.1299/jsmemag.117.1148_467 fatcat:2pie27g4xred3fctwzv2wob4ru