Поступило в Редакцию 4 мая 2018 г. Изучены многослойные структуры на основе алюминия, отражающие на длине волны λ(HeI) = 58.4 nm. Измерения спектральных и угловых зависимостей коэффициента отражения покрытий проведены с использованием лабораторного рефлектометра и на синхротронах ELETTRA и BESSY II. Многослойные зеркала Ru/Al и Mo/Al с защитным слоем MoSi 2 продемонстрировали высокую временную стабильность оптических характеристик: при нахождении на воздухе в течение 18 месяцев обнаружено лишь

more »

... езначительное (не более 1.5% в абсолютных значениях) снижение коэффициента отражения. Пиковый коэффициент отражения для зеркал Mo/Al на длине волны 58.4 nm вблизи нормали составлял R = 26.1% при спектральной ширине кривой отражения по полувысоте, равной λ 0.5 = 10 nm.