Концентрические гексагональные структуры GaN для нанофотоники, изготовленные селективной газофазной эпитаксией с использованием ионного травления

М.И. Митрофанов, Я.В. Левицкий, Г.В. Вознюк, Е.Е. Татаринов, С.Н. Родин, М.А. Калитеевский, В.П. Евтихиев
2018 Журнал технической физики  
doi:10.21883/ftp.2018.07.46058.8797 fatcat:omzlejtdirfnlklqzt5lj2oqr4