Структура и оптические характеристики пленок ниобатов бария-стронция на подложках Al-=SUB=-2-=/SUB=-O-=SUB=-3-=/SUB=-

А.В. Павленко, С.В. Кара-Мурза, А.П. Корчикова, А.А. Тихий, Д.В. Стрюков, Н.В. Ковтун
2019 Журнал технической физики  
Поступила в редакцию 15.06.2018 г. В окончательной редакции 26.10.2018 г. Принята к публикации 04.12.2018 г. Проведены исследования структуры и оптических характеристик тонких пленок сегнетоэлектрикарелаксора Ba 0.5 Sr 0.5 Nb 2 O 6 , выращенных методом высокочастотного RF-напыления в атмосфере кислорода на подложке Al 2 O 3 (c-срез). Рентгеноструктурные исследования показали, что пленки Ba 0.5 Sr 0.5 Nb 2 O 6 являются c-ориентированными, параметр c элементарной ячейки составил 3.948(1) ¦ .
more » ... сометрическими измерениями подтверждено, что пленки SBN-50 характеризуются естественным направлением роста, которое совпадает с направлением оптической оси кристалла. Анализ результатов эллипсометрических измерений показал отсутствие переходного слоя на границе пленка-подложка; толщина нарушенного слоя на свободной поверхности пленки 7.5 nm, коэффициент объемного заполнения оценивается как 0.625.
doi:10.21883/os.2019.05.47654.167-18 fatcat:t6wab52hgncxnjckhtlv7vvkhi