NEW TECHNIQUE FOR THE DEPOSITION OF HIGH Tc SUPERCONDUCTING FILMS

M. LANGLET, E. SENET, J. L. DESCHANVRES, G. DELABOUGLISE, F. WEISS, J. C. JOUBERT
1989 Le Journal de Physique Colloques  
Resume: Des couches minces supraconductrices de composition Y B a 2 C~3 0 7 -~ ont Ctk obtenues par une nouvelle technique de depot, basCe sur la pyrolyse d'un aerosol pulv6ris6 par voie ultrasonore et contenant les pr6curseurs Y-Ba-Cu. Cette technique conduit B un trks bon aspect de surface des films et permet de controler pr6cisCment leur kpaisseur.Les couches d'B peu prks 0.2 B 6 pm d'kpaisseur ont Ct C recuites B l'air B 500°C, chauffkes sous oxygkne B des tempkratures de 900 B 960°C, puis
more » ... 900 B 960°C, puis refroidies lentement B tempkrature ambiante sous oxyg5ne. Cette mkthode conduit B des couches bien cristallis&s, prksentant une bonne homog6nkit6 de taille de grain et une texture dans la direction 001 dkpendant des conditions de traitement thermique. Des ckramiques et monocristaux de SrTi03, YSZ ou MgO ont kt6 utilisks comme substrats. Dans cet article on discute l'influence des conditions expkrimentales sur la microstructure, la morphologie et les propriktks supraconductrices des films. Abstract: Thin films of YBa2Cu307-, superconductors have been prepared using a new deposition technique based on the pyrolysis of an ultrasonic generated aerosol containing the Y-Ba-Cu precursors. This technique leads to a very good quality of the film surface and allows to control accurately the film thickness. Films of about 0.2 to 6 pm in thickness have been annealed in air at 500°C, heated under oxygen at temperatures ranging from 900 to 960°C and then slowly cooled in oxygen to room temperature. This method leads to well crystallized YBa2Cu307-, films with a good grain size homogeneity and a texture in the 001 direction depending on the heat treatment conditions. SrTi03, YSZ or MgO single crystals and ceramics have been used as substrates. In this paper we discuss the influence of the experimental conditions on the microstructure, morphology and superconducting properties of the films.
doi:10.1051/jphyscol:1989520 fatcat:gxovhxfu6vfs7llwvczx23ybmq