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Croissance épitaxiale de films minces de ZnO obtenus par ablation laser femtoseconde
2001
Journal de Physique IV : Proceedings
L'oxyde de zinc ZnO est un semi-conducteur piézo-électrique à grand gap (3.3 eV à 300K) potentiellement intéressant pour les diodes émettant dans le bleu ou l'UV. Des films de ZnO peuvent être obtenus par PLD (Pulsed Laser Déposition) en utilisant un faisceau laser nanoseconde et une longueur d'onde d'ablation correspondant au domaine d'absorption photonique du matériau à ablater (i.e. inférieure à 370 nm pour ZnO). Nous montrons qu'il est possible d'obtenir des couches de ZnO de bonne qualité
doi:10.1051/jp4:2001731
fatcat:p6rqit7qjbdfvkj4jmv2xaoxra