直線検出法によるウエハー・アライメント・システム
Wafer Alignment System Using Straight Line Detection

Shinichi TAMURA, Masanori UGA, Takanori ONO
1983 ITE Technical Report  
doi:10.11485/tvtr.7.1_25 fatcat:i6evk2j5gjeifpxihvyjcwdwv4