아주대학교 분자과학기술학과 우 443-749 경기도 수원시 영통구 원천동 2 (주)엘립소테크놀러지 ㉾우 442-190 경기도 수원시 팔달구 우만동 (2013년 2월 13일 받음, 2013년 3월 18일 수정본 받음, 2013년 3월 28일 게재 확정) 시료를 회전시키는 기존의 시료회전형 타원계에서 시료를 고정시키고 편광자모듈을 회전시키는 모듈회전형 타원계로 구조를 변경하고 광원교체와 회전모듈 동기화, 배경 미세이방성 보정 등을 통해서 위상지연값 측정정밀도를 <0.005 nm 까지 향상시 켰다. 개선된 모듈회전형 타원계를 사용하고 RVD(Retardation Vector Difference) 방법을 도입함으로써 1.0 nm 정도의 잔류이방 성을 가지는 유리기층의 효과를 배제한 러빙된 Polyimide 배향막의 순수 배향효과만에 의한 초미세 광학이방성을 정밀하게 측정 하는 방법을 제시하였다. 순수 러빙으로 인한 배향막의 위상지연값은 0.05 nm 에서 0.15 nm 정도의 크기를

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... 짐을 확인하였다. The precision of retardation measurement has been improved upto <0.005 nm after improvements are made to the conventional transmission ellipsometer. Improvements are made such that, i) the polarizer module instead of the sample stage is rotated, ii) the light source is replaced, iii) the starting points of two rotating modules are accurately synchronized, and iv) the fine background retardation is compensated. Together with the newly introduced RVD (Retardation Vector Difference) method, the improved instrument is successfully applied to characterize the ultra small optical birefringence of the rubbed polyimide alignment layer, after the residual retardation due to glass substrate whose magnitude is about 1.0 nm is properly subtracted. It is verified that the net retardation of the alignment layer ranges from 0.05 nm to 0.15 nm.