Возможность образования метастабильной фазы Al3Si при ионно-лучевом и магнетронном напылении композитных пленок Al-Si

2022 КРЕМНИЙ 2022: Тезисы докладов XIV Международной конференции и XIII Школы молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе, Новосибирск, 26-30 сентября 2022 г.   unpublished
doi:10.34077/silicon2022-126 fatcat:ttcslznirbhhjdzq6ixxog4rsa