Modeling of a breakdown voltage in microdischarges

Ivana Djordjevic, Marija Radmilovic-Radjenovic, Zoran Petrovic
2009 Hemijska Industrija  
Mikropražnjenja predstavljaju novi front istraživanja na polju neravnotežne plazme, koja je već u upotrebi kao jedan od krucijalnih tehnoloških faktora u daljem razvoju mikroelektronike, ujedno predstavljajući i osnov za razvoj nove generacije nano-elektronskih uredjaja neophodnih za 65 i 40 nm tehnologije. Sve većem interesovanju za proučavanje mikropražnjenja doprinosi i razvoj tehnologije plazma nagrizanja (bez koga se ne može zamisliti proizvodnja integrisanih kola), generisanje
more » ... risanje nanostruktura, kao i mikro-biološki i nano-biološki razvoj i dijagnostika, postavljajući zahteve za što boljim razumevanjem kinetike i fizičkih fenomena vezanih za mikropražnjenja. U ovom radu je opisano modelovanje mikropražnjenja primenom modifikovanog Particle in Cell (PIC) koda sa Monte Carlo (MC) modelom, koji tretira proces sekundarne emisije elektrona usled jakog polja.
doi:10.2298/hemind0904293d fatcat:pocbueeihfadnaino73e2tqofe