A copy of this work was available on the public web and has been preserved in the Wayback Machine. The capture dates from 2020; you can also visit the original URL.
The file type is application/pdf.
Modeling of a breakdown voltage in microdischarges
2009
Hemijska Industrija
Preserved Fulltext
Mikropražnjenja predstavljaju novi front istraživanja na polju neravnotežne plazme, koja je već u upotrebi kao jedan od krucijalnih tehnoloških faktora u daljem razvoju mikroelektronike, ujedno predstavljajući i osnov za razvoj nove generacije nano-elektronskih uredjaja neophodnih za 65 i 40 nm tehnologije. Sve većem interesovanju za proučavanje mikropražnjenja doprinosi i razvoj tehnologije plazma nagrizanja (bez koga se ne može zamisliti proizvodnja integrisanih kola), generisanje
doi:10.2298/hemind0904293d
fatcat:pocbueeihfadnaino73e2tqofe