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Hochauflösende Strukturierung von Siliziumoberflächen mittels Mikrokontaktdruck-Technik untersucht mit Rasterkraftmikroskopie
[article]
2016
Preserved Fulltext
Eine im Vergleich zu EUV und EPL extrem günstige und viel versprechende Methode zur Erzeugung von Nanostrukturen auf der Siliziumoberfläche könnten die µCP-Technik und die von uns in dieser Arbeit vorgestellte modifizierte hochauflösende µCP-Technik darstellen. Mit dieser Methode konnten Monolagen auf Siliziumsubstraten mit bisher unerreichter Kantenschärfe, Homogenität und lateraler Auflösung (ca. 50 nm) erzielt werden. Gegenüber dem derzeitigen Stand der Technik bedeutet dies eine
doi:10.18725/oparu-473
fatcat:pis2b6ihybdznas5xi5d57bkg4