Nouveaux Travaux Pratiques d'Elaboration et de Caractérisation de cellules de mémoires résistives de type OxRAM

Marceline Bonvalot, Delphine Constantin, John Pointet, Ahmad Bsiesy
2017 Journal sur l'enseignement des sciences et technologies de l'information et des systèmes  
Cet article présente la mise en oeuvre d'une nouvelle formation pratique pour la réalisation et la caractérisation électrique de cellules mémoires basées sur la commutation réversible entre deux états de résistance distincts dans le matériau diélectrique d'une structure MIM. L'enchaînement des étapes technologiques s'appuie sur les techniques élémentaires traditionnelles en microélectronique, et permet de donner une vue globale des problématiques actuelles dans le domaine de la fabrication des
more » ... la fabrication des composants. This is an Open Access article distributed under the terms of the Creative Commons Attribution License (http://creativecommons.org/licenses/by/4.0), which permits unrestricted use, distribution, and reproduction in any medium, provided the original work is properly cited. Article publié par EDP Sciences et disponible sur le site https://www.j3ea.org ou https://doi.
doi:10.1051/j3ea/20171008 fatcat:ada5ei6475fjnlbar7a4jxazzm