Hard carbon films prepared by ion plating. (1)
イオンプレーティングによる硬質カーボン膜の作製 I

Eiji KOMATSU, Masami NAKASONE, Yasushi KAWASHIMO
1989 Shinku  
doi:10.3131/jvsj.32.353 fatcat:cfrpjhkqvbgcrdadfadvzd3qhi