OPTICAL METHODTS FOR CALIBRATION OF GRATINGS

Iuliana Iordache, Paul Schiopu, Florin Garoi, Victor Damian, Dan Apostol
2011 U.P.B. Sci. Bull., Series A   unpublished
Vă prezentăm un setup optoelectronic pentru caracterizarea metrologică a codoarelor optice. Practic, setup -ul este un interferometru traceabil de masurat deplasări cu rezoluţie şi acuratete de ordinul nanometrilor. Astfel, reţeaua de 24 de micrometri măsurată cu ajutorul interferometrului traceabil poate fi acum acceptată ca instrument metrologic pentru calibrarea instrumentelor sensibile la scara nanometrică. We present a complete optoelectronical setup for optical encoder metrological
more » ... erization. Basically the set up is an interferometric one able to measure length, in a traceable manner, with nanometer resolution and accuracy. The 24 micrometer gratings can be now accepted as metrological tools for calibrating sensitive instruments at nanometric scale.
fatcat:74tyhbbqdzdu3i5gwgeajka7se