ANALYSE DU TRANSFERT DE MATIÈRE ENTRE UN PLASMA RÉACTIF ET LE SILICIUM - ÉTUDE EXPÉRIMENTALE ET MODÉLISATION

D. MORVAN, P. HUMBERT, N. MADIGOU, J. AMOUROUX, S. CAVVADIAS
1990 Le Journal de Physique Colloques  
Résume -L'analyse des mécanismes de transfert de chaleur et de matière entre un plasma thermique et un matériau a été effectuée en mesurant, par spectroscopie en ligne, la cinétique de diffusion des espèces dans la couche limite lors de l'évaporation, et, la température du plasma, puis, par pyrométrie optique, la température de la surface du matériau fondu. Enfin une modélisation des transferts à l'interface plasma-particule a été réalisée en prenant en compte à la fois le transfert thermique
more » ... ansfert thermique et le transfert de matière et en particulier l'évaporation entre le silicium et le milieu plasma. Abstract -Analysis of mechanisms of heat and mass transfer behveen a thermal plasma and a material has been cany on in order to measure by on line spectrometry, the difusion kinetic of the species in the boundary layer during the evaporation and the plasma temperature, then the rneasurement of the temperature of the melted surface material by on optical pyrometer. At last a modeling of the transfers at the plasma-particale interface as k e n done taking into account both the heat and mass transfer and particalarly the evaporation between silicon and the plasma gas-
doi:10.1051/jphyscol:1990531 fatcat:ogw6fumbanfkhhqt4lcgiadszu