A copy of this work was available on the public web and has been preserved in the Wayback Machine. The capture dates from 2020; you can also visit the original URL.
The file type is application/pdf.
Влияние температуры синтеза на микроструктуру и электрофизические свойства пленок BST 80/20
2019
Журнал технической физики
Preserved Fulltext
Поступила в Редакцию 22 апреля 2019 г. В окончательной редакции 22 апреля 2019 г. Принята к публикации 23 апреля 2019 г. Показано влияние температуры синтеза на микроструктуру и электрофизические свойства сегнетоэлектрических пленок состава Ba 0.8 Sr 0.2 TiO 3 при формировании на кремниевые подложки с подслоем платины. На основе электрофизических и топографических измерений делается вывод о влиянии температуры синтеза сегнетоэлектрических пленок на их свойства. Ключевые слова:
doi:10.21883/ftt.2019.10.48275.463
fatcat:vbdkmkelg5f6xlarlow4ypbnqy