Micromachining of Optical Fiber by Reactive Ion Etching
反応性イオンエッチングによる光ファイバの微細加工

Hironori KUMAZAKI, Yoshihisa YAMADA, Seiki INABA, Kazuhiro HANE
2000 Shinku  
doi:10.3131/jvsj.43.992 fatcat:ttfz5pu6bjb7xiuzn6e5u7fe6m