触媒化学気相成長法 最近の進展と今後の展望
Catalytic Chemical Vapor Deposition

Atsushi MASUDA, Akira IZUMI, Hironobu UMEMOTO, Hideki MATSUMURA
2003 Shinku  
doi:10.3131/jvsj.46.92 fatcat:yrep3kntyzbpbowdru6vvb3x4e