Nanosized Structure Formation by Trampoline Ion-Plasma Sputtering

2020 Nanosistemi, Nanomateriali, Nanotehnologii  
The effect of collective trampoline ion-plasma sputtering on the surface properties of metals, insulators, and semiconductors is studied. The structure of the surface, composition and structure of films obtained by trampoline sputtering of various targets (metals, ceramics, silicon and carbon) are studied. The main parameters of the texturing processes and the formation of high-adhesive coatings are determined. As found, the resulting nanoscale surface structure provides extreme-adhesive
more » ... eme-adhesive fabricated films. In addition, the high rate of film deposition during ion-plasma treatment of the surface creates such submicron structures that the obtained dense films contain few defects. Вивчається ефект колективного батутного йонно-плазмового розпорошення на поверхневі властивості металів, ізоляторів і напівпровідників. Досліджується структура поверхні, склад і структура плівок, одержаних батутним розпорошенням різних цілей (металів, кераміки, кремнію та вуглецю). Визначаються основні параметри процесів текстурування та формування високоадгезійних покриттів. Як було встановлено, одержана наномасштабна структура поверхні забезпечує екстремальну адгезію вироблених плівок. Крім того, висока швидкість осадження плівки під час йонно-плазмового обробляння поверхні створює Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Nanosistemi, Nanomateriali, Nanotehnologii 2020, т. 18, № 2, сс. 357-372  2020 ІÌÔ (Іíñòèòóò ìåòàëîôіçèêè іì. Ã. Â. Êóðäþìîâà ÍÀÍ Óêðàїíи) Надруковано в Óкраїні. Ôотокопіювання дозволено тільки відповідно до ліцензії 358 A. M. GABOVICH, O. Yo. GUDYMENKO, V. P. KLADKO et al. такі субмікронні структури, що одержані щільні плівки містять мало дефектів. Изучено влияние коллективного батутного ионно-плазменного распыления на поверхностные свойства металлов, изоляторов и полупроводников. Исследована структура поверхности, состав и структура плёнок, полученных методом батутного распыления различных мишеней (металлов, керамики, кремния и углерода). Определены основные параметры процессов текстурирования и формирования высокоадгезионных покрытий. Как установлено, полученная наномасштабная структура поверхности обеспечивает экстремальную адгезию полученных плёнок. Кроме того, высокая скорость осаждения плёнки при ионноплазменной обработке поверхности создаёт такие субмикронные структуры, что полученные плотные плёнки содержат мало дефектов. Ключові слова: батутне розпорошення, наномасштабна структура, надвисока адгезія, нанокластери. Ключевые слова: батутное распыление, наномасштабная структура, сверхвысокая адгезия, нанокластеры.
doi:10.15407/nnn.18.02.357 fatcat:ajye3owb4bandgtdxv6yahqd64