Deflektometrie macht der Interferometrie KonkurrenzDeflectometry Rivals Interferometry

Markus C. Knauer, Claus Richter, Odrej Hybl, Jürgen Kaminski, Christian Faber, Gerd Häusler
2009 TM. Technisches Messen  
Die Deflektometrie ist eine in den letzten Jahren neu entwickelte Methode zur Vermessung glatter Oberflächen. Sie gestattet es, auch auf Freiformflächen Höhenvariationen im Nanometerbereich zu vermessen. Um die positiven Eigenschaften der Deflektometrie zu verstehen, betrachten wir die physikalischen Grenzen sowie informationstheoretische Aspekte. Abschließend wird die Vielseitigkeit der Deflektometrie anhand von Anwendungsbeispielen demonstriert. Schlagwörter: Deflektometrie, optische
more » ... , optische Messtechnik, Oberflächenvermessung, spiegelnde Freiformflächen Deflectometry Rivals Interferometry Deflectometry is a new method developed recently to measure specular surfaces. With this method we can measure local height variations in the nanometer regime on free-form surfaces. To understand the benefits of deflectometry we studied the physical limits and information theoretical aspects of the method. We eventually demonstrate the versatility of deflectometry by several possible applications.
doi:10.1524/teme.2009.0933 fatcat:v7ws5bz6abe6dhm2y4rkomtrka