Разработка технологической установки для обработки стеклянных пластин ионно-плазменным и плазмохимическим методами

Лев Атемасов, Владимир Фролов, Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт энергетики и транспортных систем
2017
Объектом исследования является технологическая установка для обработки стеклянных панелей ионно-плазменным и плазмо-химическим методами. Цель работы - разработка технологической установки для обработки стеклянных панелей ионно-плазменным и плазмо-химическим методами. В процессе работы проводились экспериментальные исследования отдельных составляющих установки.
doi:10.18720/spbpu/2/v17-2029 fatcat:rzbiyzqxtbeyznjnm27gdlangm