Дефектная структура слоев GaAs, имплантированных ионами азота

Н.А. Соболев, А.Е. Калядин, К.В. Карабешкин, Р.Н. Кютт, В.М. Микушкин, Е.И. Шек, Е.В. Шерстнев, В.И. Вдовин
2018 Журнал технической физики  
doi:10.21883/pjtf.2018.18.46608.17148 fatcat:wpxvk5qvbfe4hpppwdfhewm36e