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THE SERIES RESISTANCE OF SUBMICRON MOSFETs AND ITS EFFECT ON THEIR CHARACTERISTICS
1988
Le Journal de Physique Colloques
Une formule de modèle, liée au procès, pour les résistances série des MOSFETs est présentée, en supposant un profil de dopage linéaire pour des jonctions graduelles. La variable la plus importante du procès est le gradient de dopage latéral, tandis que la dose du drain légèrement dopé n'a pas beaucoup d'influence. Les valeurs calculées des résistances correspondent bien avec les valeurs mesurées, qui ont été extraites des paramètres d'un nouveau modèle de circuit pour des MOSFETs. Dans ce
doi:10.1051/jphyscol:1988453
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