A copy of this work was available on the public web and has been preserved in the Wayback Machine. The capture dates from 2019; you can also visit the original URL.
The file type is application/pdf.
Синтез пленок нанокристаллического графита в разряде с полым катодом
2018
Журнал технической физики
Preserved Fulltext
Представлены результаты экспериментов по получению пленок нанокристаллического графита в тлеющем разряде с полым катодом на подложку Ni(111) на сапфире. Приведены характеристики разряда для разных газов и давлений, измерены эмиссионные спектры плазмы и проведена характеризация получаемых слоев с помощью методов комбинационного рассеяния и атомно-силовой микроскопии. Также измерена автоэлектронная эмиссия нанокристаллического графита. Полученные слои обладают хорошей однородностью, высокой
doi:10.21883/jtf.2018.08.46307.2629
fatcat:ls46wp4rojd6fnmnrfmlha4lbq