Хлорид-гидридная газофазная эпитаксия полуполярного слоя AlN(1012) на наноструктурированной подложке Si(100)

В.Н. Бессолов, М.Е. Компан, Е.В. Коненкова, В.Н. Пантелеев
2020 Журнал технической физики  
doi:10.21883/pjtf.2020.02.48944.18061 fatcat:tjwjn6k7wnd3jdj6d2zycxk3oa