Special Issue on Simulation Studies on Solid Surfaces. Simulation of Chemical Vapor Deposition. Modeling of Transport Phenomena and Chemical Reactions
特集 固体・表面のシミュレーション CVDのシミュレーション 移動現象,反応のモデル化

Nobuyuki IMAISHI, Yasunobu AKIYAMA
1994 Hyomen Kagaku  
doi:10.1380/jsssj.15.233 fatcat:v7mzrq6ga5b53lhrpvt5wfu77e