Плазмохимический способ модификации карбида кремния для получения частиц с управляемой морфологией поверхности

Т.А. Шалыгина, М.С. Руденко, И.В. Немцев, В.А. Парфенов, С.Ю. Воронина
2022 Technical Physics Letters  
Представлен плазмохимический способ модификации частиц карбида кремния, позволяющий получить частицы с управляемой морфологией поверхности. Изменяющимся параметром обработки частиц являлось соотношение объемных долей плазмообразующего (Ar) и дополнительного (Н) газов. Показано, что при соотношении Ar/H = 100/0 наблюдается образование углеродной оболочки, при соотношениях Ar/H, равных 91/9 и 84/16, частицы характеризуются углеродной оболочкой, декорированной кремниевыми наночастицами или
more » ... ыми нанокристаллами соответственно. Модифицированные частицы проанализированы с помощью сканирующей электронной микроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния. Ключевые слова: карбид кремния, плазмохимия, морфология поверхности, наночастицы, нитевидные нанокристаллы, углеродная оболочка, ядро-оболочка.
doi:10.21883/pjtf.2022.04.52078.19042 fatcat:hxtgyx53tnfl5nxd6275b2rmru