Adsorption Capacity of Metallic Thin Films after Bombarding by Low-Energy Ar$^{+}$ Ions
Адсорбційна здатність поверхні металевих тонких плівок після бомбардування йонами Ar$^{+}$ низьких енергій

M. O. Vasylyev, National Technical University of Ukraine 'Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute', 37 Peremohy Ave., UA-03056 Kyiv, Ukraine, S. I. Sidorenko, I. O. Kruhlov, D. I. Trubchaninova, National Technical University of Ukraine 'Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute', 37 Peremohy Ave., UA-03056 Kyiv, Ukraine, National Technical University of Ukraine 'Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute', 37 Peremohy Ave., UA-03056 Kyiv, Ukraine, National Technical University of Ukraine 'Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute', 37 Peremohy Ave., UA-03056 Kyiv, Ukraine
2020 Metallofizika i novejsie tehnologii  
Адсорбційна здатність поверхні металевих тонких плівок після бомбардування йонами Ar + низьких енергій М. О. Васильєв, С. І. Сидоренко, І. О. Круглов, Д. І. Трубчанінова Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», просп. Перемоги, 37, 03056 Київ, Україна У даній роботі методом вторинної йонно-йонної емісії проаналізовано кінетику розпорошення адсорбованих шарів кисню, що одержані на очищеній йонним пучком поверхні тонких металевих
more » ... ких металевих плівок Nb, Ti, Fe, Ni і Cu товщиною 100 нм в широкому діапазоні доз опромінення йонами Ar + з енергією 4 кеВ. Встановлено закономірності зміни адсорбційної здатності поверхні після тривалого бомбардування в залежності від природи металу. Запропоновано механізм ефекту пасивації поверхні плівок в результаті зазначеної обробки. Ключові слова: вторинно йонно-йонна емісія, тонкі плівки, йонне бомбардування, окиснення, адсорбція. In this work, the sputtering kinetics of the adsorbed oxygen layers obtained on the surface of 100 nm thick Nb, Ti, Fe, Ni, and Cu metal films after their cleaning by Ar + ions with energy of 4 keV and a wide dose range is studied by the method of the secondary ion-ion emission. The changes of adsorption capacity of the surface after a long bombardment are established depending on the nature of the metals. The mechanism of the passivation effect of the film surface because of this treatment is proposed.
doi:10.15407/mfint.42.05.0621 fatcat:24lfb3j7ijcpnkplhiet2a4cim