Рассмотрены вакуумные установки для нанесения тонких пленок с автоматическим управлением, встроенным в систему удаленного доступа. На установках реализованы методы термического, магнетронного, ионно-лучевого и газофазного осаждения наноструктурированных тонкопленочных покрытий. Разработаны методическое обеспечение для подготовки к выполнению лабораторных работ и виртуальный симулятор для обучения практической работе на установке. Данная статья продолжает цикл статей, опубликованных в журнале

more »

... НОИНДУСТРИЯ" за 2016 год (№ 3 и 5). Thin film vacuum deposition systems with automatic control that is built-in into the system of remote access are considered. Methods for thermal, magnetron, ion beam and chemical vapor deposition of nanostructured thin films are used in equipment. The methodical support for the preparation of laboratory works and the virtual simulator for the training on the equipment are developed. This paper continues a series of publications in the NANOINDUSTRY journal No. 3 and 5, 2016.