Material- und Verfahrensentwicklung für mikrotechnische Hochleistungsbauteile. Strategiefondsprojekt der Hermann von Helmholtz-Gemeinschaft Deutscher Forschungszentren, Abschlusspräsentation am 23.Oktober 2001 im Forschungszentrum Karlsruhe [report]

K.H. Zum Gahr
2001
doi:10.5445/ir/270050643 fatcat:nerh4zyn6zgare7kodhn7mb5gy