3-D Analysis of Semiconductor Surface by Using Photoacoustic Microscopy
광음향 현미경법을 이용한 반도체 표면의 3차원적 구조 분석

2004 Journal of the Korean Chemical Society  
doi:10.5012/jkcs.2004.48.6.553 fatcat:rvriyzqey5bnrfmh7xxfpmd4hy