A Study on Fluid Driven Microactuator
流体駆動形マイクロアクチュエータに関する研究

Yasushi IKEI, Tokumasa YAGURA, Akihiro KOGA, Shogo TAKEDA, Yoshikuni OKAWA
1992 Journal of the Robotics Society of Japan  
doi:10.7210/jrsj.10.402 fatcat:qf4snnsnerfr3adrxhfdmqmuym