Siliziumbasierte Barriereschicht wurden auf PET und PP mit einem gepulsten Mikrowellenplasma abgeschieden und mit einem RF-bias kombiniert. Die Auswirkungen der Vorbehandlung auf die Kunststoffoberfläche und die Funktion von Zwischenschichten wurden aufgeklärt. Dazu wurde auch die oxidative Degradation der Polymeroberfläche während Schichtabscheidungen und die Entstehung von Schichtdefekten in verschiedenen PECVD und PEALD Schichten analysiert. Es wurde gezeigt, dass sowohl ein hoher

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... rag, als auch ein hoher Sauerstoffeintrag zu vollständig oxidierten Schichten und einer besseren Barrierewirkung führt. Darüber hinaus wurden verschiedene Precursor für die Abscheidungen untersucht und qualitativ sowie quantitativ verglichen. Außerdem wurde ein neuer Ansatz verfolgt, der PEALD mit PECVD Schichten in Multilagensystemen kombiniert. Durch den Einsatz von PEALD Schichten als Capping- und Seedingschichten konnten die auftretenden Defektdichten signifikant gesenkt werden.