О бычное сочетание РС и РЭМ позволяет получать по одному рамановскому спектру для каждого положения образца без создания конфокальных рамановских изображений. Новая корреляционная технология RISE (Raman imaging and scanning electron -получение рамановских изображений и сканирование электронным пучком) впервые позволила сочетать в одном приборе (рис.1) РЭМ и конфокальную рамановскую микроскопию (КРМ). Ниже рассмотрены основные особенности новой комбинированной технологии и примеры ее

more »

... о применения. ТехнОлОгии и ОбОрудОвание РЭМ характеризуется высоким разрешением, позволяя исследовать топографию и морфологию материалов. Для получения изображения поверхность образца сканируется сфокусированным высокоэнергетическим пучком электронов с фиксацией датчиком отраженных и вторичных электронов. Вторичные электроны дают информацию о морфологии и топографии образца, обратноотраженные электроны -об однородности структуры. Разрешение РЭМ составляет около 1 нм [1]. КРМ базируется на спектроскопическом анализе молекулярной структуры образца. РС может применяться для исследования твердых, жидких и газообразных объектов. Эффект комбинационного рассеяния проявляется при взаимодействии света с химическими связями в материале. Колебания в химических связях вызывают изменение частоты энергии отраженного излучения, которое определяется специфическим для каждого химического вещества рамановским спектром. Комбинационное рассеяние, как правило, имеет низкую интенсивность, поэтому для кОмбинация кОнфОкальнОй раманОвскОй и расТрОвОй элекТрОннОй микрОскОпии RISE MIcRoScopy: coRRElatIvE RaMan-SEM IMagIng Хорошо отработанный и широко используемый способ исследования поверхности в нанометровом диапазоне -растровая электронная микроскопия (РЭМ). Однако аналитические возможности РЭМ ограничены изучением структуры поверхности образцов. Для их расширения РЭМ комбинируется с другими измерительными методами, что позволяет получить больше информации об исследуемом объекте. Например, РЭМ может дополняться энергодисперсионной рентгеновской спектроскопией (ЭДС), которая позволяет выполнять элементный анализ материала образца. Также все более широкое применение в исследованиях находит комбинация РЭМ и рамановской спектроскопии (РС). Последняя дает возможность изучать молекулярную структуру вещества. Scanning Electron Microscopy (SEM) is a well-established and common method for the analysis of sample surfaces in the nanometer range. However, the analyzing capabilities of SEM are limited to the surface structure. To overcome these limits, SEM is often combined with other analyzing techniques that are suitable for the detection of additional sample characteristics. An example of such an SEM attachment is EDX (Energy-dispersive X-ray spectroscopy), which provides information about the elemental composition of a sample. Although not as frequently used as the well-established EDX-SEM combination, Raman-SEM is becoming increasingly popular for comprehensive sample analysis. Raman spectroscopy can detect the molecular composition.