28aXT-3 陽電子寿命測定によるCVDで成長した多結晶シリコン中の欠陥構造(格子欠陥・ナノ構造)(領域10)
28aXT-3 Positron lifetime studies of defects in polycrystalline Si grown by CVD

H. Fukushima, A. Fujiwara, S. Ueki
2004 Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan (Nihon Butsuri Gakkai koen gaiyoshu)  
doi:10.11316/jpsgaiyo.59.1.4.0_960_4 fatcat:z4vs72hbt5canbvbeddczbh5cq