Оптический эмиссионный анализ индуктивно-связанного высокочастотного разряда в азоте

Александра Алиева, Максим Мишин, машиностроения и транспорта Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии
2017
Работа посвящена исследованию индуктивно-связанного разряда в азоте, его оптической эмиссионной спектроскопии и исследованию механизмов возбуждения и тушения обнаруженных частиц. В работе приводится литературный обзор, посвященный плазмохимии, применению и особенностям азотного разряда. Также приводится описание установки, ряд результатов, полученных с помощью неё: эмиссионные спектры, их интерпретация, сигналы фотоэлектронного умножителя, настроенного на определенные длины волн, для описания механизмов возбуждения и тушения частиц.
doi:10.18720/spbpu/2/v17-3416 fatcat:prfagkyks5b3zdxbmqqdycx6vi