Development of High Power Silicon Membrane Thermoelectric Generator with Phononic Nano-structures by using Nanoimprint
ナノインプリントによるフォノニックナノ構造シリコン薄膜熱電デバイスの高出力化

Ryoto Yanagisawa, Masahiro Nomura
2019 The Proceedings of the Thermal Engineering Conference  
doi:10.1299/jsmeted.2019.0135 fatcat:5emqozhjavbmrffgfus77nzgey