Представлены экспериментальные результаты исследований твердофазных реакций и фазовых превращений, протекающих в наноразмерной пленочной структуре Bi/Se при вакуумной термической обработке. Впервые твердофазным синтезом, в зависимости от соотношения толщин слоев Bi и Se, получены нанокристаллические пленки Bi 2 Se 3 , BiSe и Bi 4 Se 3 . Определены температуры фазового превращения, при которых происходит образование кристаллических фаз Se, BiSe и Bi 4 Se 3 . Средние размеры кристаллитов в

more »

... ных пленках Bi 2 Se 3 , BiSe и Bi 4 Se 3 составляли 21, 23 и 33 нм соответственно. Abstract Experimental results of investigations of solid-phase reactions and phase transformations in a Bi/Se nanosized film structure under vacuum-thermal treatment are presented. For the first time, nanocrystalline films Bi 2 Se 3 , BiSe, and Bi 4 Se 3 were obtained by solid-phase synthesis depending on the ratio of the thicknesses of the Bi and Se layers. The temperatures of the Se, BiSe, and Bi 4 Se 3 nanocrystalline phases formation are determined. The average crystallite sizes of the Bi 2 Se 3 , BiSe, and Bi 4 Se 3 films were 21, 23, and 33 nm, respectively. Физика и техника полупроводников, 2018, том 52, вып. 8