PREPARATION OF THE TIN DIOXIDE FILMS FOR ENERGY-SAVING GAS SENSOR

Gennadiy Khrypunov, Senenovich, Sergey Krivosheyev, Yurievich
unpublished
ОТРИМАННЯ ПЛІВОК ДИОКСИДУ ОЛОВА ДЛЯ ЕНЕРГОЗБЕРІГАЮЧИХ ГАЗОВИХ ДАТЧИКІВ Анотація: Проведено оптимізацію технологічного процесу одержання газочутливих плівок диоксиду олова методом магнетронного розпилення з подальшим відпалом на повітрі. Експериментально доведено, що газочутливість плівок диоксиду олова збільшується при зростанні концентрації кисню у складі газу, що розпилює, зниженні температури підкладки і зменшенні товщини шару. Розглянуто фізичні механізми, що обумовлюють спостережувані
more » ... спостережувані експериментальні закономірності. Ключові слова: газочутливість, плівки, диоксид олова, магнетронне розпилення, відпал Хрипунов Геннадий Семенович, докт. техн. наук, проф., Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», Харьков, Украина, ул. Фрунзе, 21, г. Харьков, Украина, 61002. ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК ДИОКСИДА ОЛОВА ДЛЯ ЭНЕРГОСБЕРИГАЮЩИХ ГАЗОВЫХ ДАТЧИКОВ Аннотация: Проведено оптимизацию технологического процесса получения газочувствительных пленок диоксида олова методом магнетронного распыления с последующим отжигом на воздухе. Экспериментально доказано, что газочуствительность пленок диоксида олова увеличивается при увеличении концентрации кислорода в составе распыляющего газа, снижении температуры подложки и уменьшение толщины слоя. Рассмотрены физические механизмы обуславливающие наблюдаемые экспериментальные закономерности. Ключевые слова: газочувствительность, пленки, диоксид олова, магнетронное распыление, отжиг Abstract: The influence of the technological process preparation of the gas sensing properties to reducing gases tin dioxide films it was studied. Technological process consists preparation of the tin oxide films by magnetron DC sputtering and subsequent annealing films in air at the temperature of 500 o C during 10 hours. It has been established that the increase of oxygen concentration in the gas composition in during magnetron sputtering process and increase the substrate temperature results to monotonic decrease of the tin dioxide films gas sensing properties.
fatcat:mcgvdzk4wjh3rbhzh64jbhqhui