Аннотация. В настоящее время во всем мире проявляется значительный интерес к методам исследования нано‑ и микроповерхностей, применимым для проектирования нано‑ и микроматериалов с наперед заданными физическими и физико‑химическими свойствами. Практическая реализация такой наноинженерии настоятельно требует осуществления междисциплинарной стыковки теоретических подходов к описанию роста нано‑ и микроструктур и методов экспериментального изучения последних, в первую очередь с помощью атомной

more »

... вой микроскопии, с современным уровнем развития методов вычислительной математики и информационных технологий. В данной работе проведено теоретическое исследование одной модели эпитаксиальной технологии, учитывающей как прилипание осаждающихся частиц вещества к поверхности твердого тела, так и их перемещение по ней при ее росте. На основе этой модели предложен новый численно‑аналитический метод определения формы шероховатого интерфейса, пригодный в том числе и для описания пространственно‑временной эволюции его фрактальных начальных неоднородностей.