COMPARATIVE CHARACTERISTICS OF PULSE-PERIODIC СО 2 -, FIBER NANOSECOND AND FEMTOSECOND LASERS FOR MICRO-DRILLING
СРАВНИТЕЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРИМЕНЕНИЯ ИМПУЛЬСНО - ПЕРИОДИЧЕСКОГО СО 2 -, ВОЛОКОННОГО НАНОСЕКУНДНОГО И ФЕМТОСЕКУНДНОГО ЛАЗЕРОВ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРООТВЕРСТИЙ

А Малов, А Оришич, А Достовалов, А Кузнецов, С Бабин
2015 Applied photonics  
1 Институт теоретической и прикладной механики им. С.А. Христиановича Сибирского отделения РАН, Новосибирск, Россия 2 Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения РАН, Новосибирск, Россия СРАВНИТЕЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРИМЕНЕНИЯ ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКОГО СО 2 -, ВОЛОКОННОГО НАНОСЕКУНДНОГО И ФЕМТОСЕКУНДНОГО ЛАЗЕРОВ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРООТВЕРСТИЙ Применение импульсно-периодических СО 2 -и волоконного лазеров для лазерной микрообработки и, в частности, для гравировки различных
more » ... различных материалов подробно описано в литературе. Однако большинство работ выполнены на установках, имеющих различные энергетические и временные характеристики, что не позволяет получить однозначное представление о связи физических процессов, происходящих при микрообработке, c параметрами лазеров. В статье проанализированы тепловые процессы плавления и испарения материалов при воздействии на них импульсного лазерного излучения в микро-, нано-и фемтосекундном диапазоне времени. Показано, что соотношение этих процессов обеспечивает качество изготовления отверстий. Ключевые слова: CO 2 -лазер, волоконный лазер, микрообработка материалов, фемтосекундный лазер.
doi:10.15593/2411-4367/2015.2.05 fatcat:3jnfvv2livehllyrfhpxbketsi