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Fabrication of small microbridges
1974
Revue de Physique Appliquée
2014 On décrit une technique simple pour fabriquer des microponts très petits, solides et reproductibles. Les jonctions ne se détériorent pas pendant de longues périodes même si elles sont exposées à l'air, soumises aux chocs et aux cyclages thermiques répétés. Leurs dimensions minimales sont de l'ordre de 2 000 A de large sur 1 000 A de long. On décrit par ailleurs un procédé qui permet d'obtenir des couches minces d'étain, adhérentes, homogènes et à grains fins et de réaliser une protection
doi:10.1051/rphysap:0197400901018300
fatcat:zrwhp56euvatdpv3gdfsnj2bjm