Ultrasonic Transducers [chapter]

2014 Ultrasonic Technology for Desiccant Regeneration  
Bibliographische Beschreibung Jia, Chenping Mikromechanische Ultraschallwandler aus Silizium - Silicon Micromachined Ultrasonic Transducers Dissertation an der
doi:10.1002/9781118921616.ch5 fatcat:oczbl2hzfzg2jpdb4x3zn4fyxm