Selective Transmission Properties of Al-Ti Based Oxide Thin Films
Al-Ti계 산화물 박막의 조성에 따른 선택적 투과 특성

Ki Su Bang, So Un Jeong, Jung Wook Lim, Seung-Yun Lee
2013 Applied Science and Convergence Technology  
Figure 1. Concept of a selective transmitting layer in a thin film solar cell. I. 서 론 태양전지의 기본 구조는 전면전극, 후면전극, 그리고 이 들 사이에 위치하는 광흡수층으로 구성된다. 여기에 더하 여 광흡수층에서 반사되거나 투과되는 빛 에너지의 손실을 줄여 효율을 높이기 위하여 광흡수층 윗면에는 반사방지막 을, 아랫면에는 고반사막을 적용한다 [1-3]. Fig. 1과 같이 반사방지막을 광흡수층 윗면에 적용하면 반사에 의해서 흡 수되지 못하는 빛을 광흡수층으로 굴절시킴으로써 태양전 지의 효율을 높일 수 있고 태양전지의 아랫면에 고반사막 대신 선택적 투과막을 적용하면 가시광선은 투과시키고 적 외선은 광흡수층으로 반사시킴으로써 투명도가 확보되고 변환효율이 증가된다. 즉, 투명도에 기여하지 않는 적외선 영역의 빛만을 선택적 투과막을 이용하여 재반사시킴으로 써 흡수층에서의 흡수 확률을 높이는 것이다. 이러한 선택 적
more » ... 는 것이다. 이러한 선택 적 투과막의 형성법으로는 chemical vapor deposition (CVD), atomic layer deposition (ALD), 스퍼터링을 들 수 있다. CVD의 경우 다양한 형상의 기판에 적용할 수 있 고 구성 물질의 농도 조절 및 대량 생산이 가능하지만 반응 기체에 대한 부식 및 구성 물질의 부산물 생성 등의 문제 때문에 공정비용이 증가하는 단점이 있다. 또한 ALD의 경 우 정밀한 두께 조절성 및 균일한 박막 형성의 장점이 있지 만 느린 증착률로 인해 상업적으로 이용하기 어려운 단점 을 가지고 있다 [4,5]. 이에 본 연구에서는 선택적 투과막
doi:10.5757/jkvs.2013.22.1.13 fatcat:sllry6muejcgbpmfjjwquyj54e