Évaluation de la densité numérique d'un plasma radio-fréquence par sondes électrostatiques et par interféromètre micro-ondes a faisceau focalisé

L. Nguyen Cao, R.R.J. Gagne
1976 Revue de Physique Appliquée  
Reçu le 28 juillet 1975, accepté le 20 août 1975) Résumé. 2014 Pour vérifier expérimentalement et comparer quelques théories ioniques récentes sur les sondes électrostatiques cylindriques, la densité numérique, d'un plasma produit par un champ radio-fréquence, a été évaluée, à partir des courbes tension-courant, au moyen de six théories différentes. Aux basses pression, les théories de Bernstein et Rabinowitz, de Lam et de Laframboise, donnent des densités avec des écarts respectifs de 20, 25
more » ... 30 % par rapport aux valeurs obtenues au moyen d'un interféromètre focalisé opérant à 10 GHz. A la limite du continuum, les théories de Schulz et Brown, et de Su et Kiel, donnent des densités avec des écarts respectifs de 55 et 20 % par rapport aux valeurs obtenues par micro-ondes. Pour des pressions variant de 0,05 à 3 mmHg, la diminution du courant ionique prédit théoriquement par Waymouth a été observée. La perturbation de la densité dans le voisinage de la sonde apparaît être le facteur dominant affectant la précision des mesures de densité, jusqu'au moins 2 mmHg pour nos conditions expérimentales.
doi:10.1051/rphysap:01976001101014300 fatcat:xoip6lm4gbek5gw2lwgkumtz7y