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Évaluation de la densité numérique d'un plasma radio-fréquence par sondes électrostatiques et par interféromètre micro-ondes a faisceau focalisé
1976
Revue de Physique Appliquée
Reçu le 28 juillet 1975, accepté le 20 août 1975) Résumé. 2014 Pour vérifier expérimentalement et comparer quelques théories ioniques récentes sur les sondes électrostatiques cylindriques, la densité numérique, d'un plasma produit par un champ radio-fréquence, a été évaluée, à partir des courbes tension-courant, au moyen de six théories différentes. Aux basses pression, les théories de Bernstein et Rabinowitz, de Lam et de Laframboise, donnent des densités avec des écarts respectifs de 20, 25
doi:10.1051/rphysap:01976001101014300
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