Coalescence of B ions during high-fluence implantation into a Si target:
23pYN-12 原子衝突の緩和過程におけるクラスタリング

G. Betz
2000 Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan (Nihon Butsuri Gakkai koen gaiyoshu)  
doi:10.11316/jpsgaiyo.55.2.2.0_112_2 fatcat:dhyzc564bvcxtdnq2d2suug2ni