ESTUDO ATRAVÉS DE OES DO EFEITO DE ESPÉCIES CONTAMINANTES NUM TRATAMENTO POR PLASMA

Júlio César Pereira Barbosa
2014 Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo  
Resumo Espectroscopia de Emissão Óptica (OES) é uma poderosa ferramenta de monitoramento do plasma, com o objetivo de descrevê-lo, pelo menos qualitativamente, e para determinados casos, torná-lo mais eficiente em processos de modificação superficial tais como a nitretação. Especialmente em se tratando de nitretação por plasma, é necessariamente importante que vazamentos do reator de tratamento sejam minimizados para evitar a contaminação do processo devido a espécies indesejáveis da atmosfera.
more » ... áveis da atmosfera. Porém, a capacidade de vedação de cada reator tem um limite o qual não pode ser ultrapassado. Portanto, para reduzir as espécies contaminantes num reator de nitretação, foi estudado o plasma atmosférico em baixa pressão através da OES, em que espécies contaminantes puderam ser identificadas e reduzidas através da adição do gás hidrogênio. Palavras-chave: OES; Plasma; Contaminação. Abstract Optical Emission Spectroscopy (OES) is a powerful tool for monitoring the plasma, in order to (at least qualitatively) describe it. And, in certain cases, to use it more efficiently in surface modification processes such as nitriding. Particularly in the case of plasma nitriding, it is important that leaks in the treatment reactor are minimized to avoid process contamination, due to undesirable species from the atmosphere. However, the sealing capability of each reactor has a limit can not be surpassed. Therefore, to reduce contaminant species in nitration reactor, atmospheric plasma was studied in low pressure conditions, in which contaminating species could be identified and reduced by the addition of hydrogen gas.
doi:10.17563/rbav.v30i1-2.501 fatcat:qww7r4iwbfai7kpdsae6ausjea