A copy of this work was available on the public web and has been preserved in the Wayback Machine. The capture dates from 2018; you can also visit the original URL.
The file type is application/pdf
.
ESTUDO ATRAVÉS DE OES DO EFEITO DE ESPÉCIES CONTAMINANTES NUM TRATAMENTO POR PLASMA
2014
Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo
Resumo Espectroscopia de Emissão Óptica (OES) é uma poderosa ferramenta de monitoramento do plasma, com o objetivo de descrevê-lo, pelo menos qualitativamente, e para determinados casos, torná-lo mais eficiente em processos de modificação superficial tais como a nitretação. Especialmente em se tratando de nitretação por plasma, é necessariamente importante que vazamentos do reator de tratamento sejam minimizados para evitar a contaminação do processo devido a espécies indesejáveis da atmosfera.
doi:10.17563/rbav.v30i1-2.501
fatcat:qww7r4iwbfai7kpdsae6ausjea